Für eine genaue Analyse der Oberflächenzusammensetzung von Komponenten verwendet Mat-Tech die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDRS). Dies ist eine Oberflächenanalysetechnik, bei der ein Elektronenstrahl (der spezifische Wellenlängen von Röntgenstrahlen aussendet) die Komponente trifft und dabei ein Elektron in eine innere Schale anregt. Dadurch entsteht eine Elektronenlücke in der elektronischen Struktur des Elements.

Die Energie des Elektronenstrahls liegt zwischen 10-20 keV. Die Menge an ausgestrahlter Röntgenstrahlung hängt vom Element ab. Der Elektronenstrahl bewegt sich über die Komponente und die Bilder werden gespeichert. Die Anwesenheit von Au, Ag und Pd auf der NP-Oberfläche kann leicht identifiziert werden. Elemente mit niedriger Ordnungszahl sind jedoch mit EDRS schwer zu erkennen.

Die EDRS kann sogar bei sehr kleinen Komponenten verwendet werden, selbst solchen, die nur wenige Kubikmikrometer groß sind.