Rasterelektronenmikroskopie (REM)
Bei der Rasterelektronenmikroskopie (REM) wird der Elektronenstrahl auf das gesamte zu untersuchende Material fokussiert. Das Substrat wird gemäß einem bestimmten Raster abgetastet. Die Beschleunigungsspannung liegt zwischen 100 V und 30 kV. Mit SEM sind Vergrößerungen von bis zu 100.000-fach möglich. Dank des großen Formats entsteht ein stark dreidimensionaler Effekt.
Die Abbildung erscheint in einer Farbe (monochromatisch). Dies liegt daran, dass nur eine bestimmte Energie verwendet wird und die Werte automatisch in eine bestimmte Farbe auf dem Bild umgewandelt werden. Gegebenenfalls kann die Aufnahme später durch Bildbearbeitung eingefärbt werden. In der Industrie wird SEM häufig zur Detektion von Asbest- und keramischen Fasern verwendet.
Ein anderer Begriff, der häufig für die Rasterelektronenmikroskopie verwendet wird, ist Raster-Elektronenmikroskopie, da das Mikroskop ein bestimmtes Raster abfährt. Die Engländer verwenden den Begriff “Scanning Electron Microscopy”.
Eine andere Methode zur Bestimmung der chemischen Zusammensetzung der vorhandenen Materialien ist die energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX).
